氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級(jí),儀器響應(yīng)快,將氦質(zhì)譜檢漏儀與試件用真空橡皮管連接,在試件上用密閉的容器罩住,在容器里充入氦氣,檢漏儀開始檢漏,如果試件有漏點(diǎn),儀器就可以顯示其漏率;
消費(fèi)者在選購氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)必須要注意這種儀器自身的能力和消費(fèi)的需求，并且在挑選氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)注意這種設(shè)備的價(jià)格和操作模式，檢漏儀具備強(qiáng)的數(shù)據(jù)監(jiān)控和存儲(chǔ)能力，為了保證更好的操作效果和數(shù)據(jù)的保存能力，在這種氦質(zhì)譜檢漏儀的日常運(yùn)轉(zhuǎn)之中可以方便的將檢測的數(shù)據(jù)輸出并且進(jìn)行查詢，消費(fèi)者應(yīng)用這種氦質(zhì)譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產(chǎn)品擁有良好的應(yīng)用價(jià)值，在我國更多的產(chǎn)品漏率檢查之中原先更好的技術(shù)支持，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢更保證了我國產(chǎn)品漏問題檢查的質(zhì)量。
氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,選購檢漏儀時(shí)注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度，不同的產(chǎn)品檢漏操作時(shí)所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別，消費(fèi)者在選購氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進(jìn)行挑選，檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
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